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ALDとHigh-K金属前駆体市場レポート CMR 2025-2026

ALDとHigh-K金属前駆体市場レポート CMR 2025-2026


ALD/ High K Metal Precursors Market Report CMR 2025-2026

この調査レポートは、半導体デバイス製造に使用される前駆体の市場展望とサプライチェーンを網羅しています。主要サプライヤーに関する情報、材料サプライチェーンにおける課題/動向、サプライヤーの市場シェ... もっと見る

 

 

出版社 出版年月 電子版価格 納期 ページ数 言語
Techcet
テクセット社
2025年6月23日 US$8,900
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サマリー

この調査レポートは、半導体デバイス製造に使用される前駆体の市場展望とサプライチェーンを網羅しています。主要サプライヤーに関する情報、材料サプライチェーンにおける課題/動向、サプライヤーの市場シェアに関する予測、材料セグメントに関する予測などが含まれています。

  • ・有機および無機プリカーサーに関する市場および技術動向情報を提供し、CVD、ALD用途(高誘電率金属酸化物、バリア層、金属配線、キャップ層など)を網羅しています。
  • ・サプライチェーンマネージャー、プロセスインテグレーションおよび研究開発ディレクター、事業開発および財務アナリスト向けに、重点的な情報を提供しています。
  • ・主要サプライヤーに関する情報、エレクトロニクス材料サプライチェーンの課題/動向、サプライヤーの市場シェア推定、およびエレクトロニクス材料セグメントの予測を網羅しています。
  • ・アナリストによる市場動向と予測の最新情報を含む、四半期ごとの最新情報を3回お届けします。


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目次

1 エグゼクティブ・サマリー

1.1 前駆体市場の動向
1.2 2025年見通しに影響を与える市場動向
1.3 メタル・ハイケープリカーサ セグメント別5年出荷数量予測
1.4 プレカーサーセグメント動向
1.5 技術動向
1.6 上位サプライヤーのメタル・ハイケープリカーサ生産能力
1.7 今期プリカーサプライヤー上位5社の活動・報告売上高
1.8 EHS、貿易、ロジスティクスの問題/懸念事項
1.9 金属・高誘電率材料に関するアナリスト評価

2 スコープ、目的および   方法論

2.1 SCOPE, PURPOSE & 方法論
2.2 OVERVIEW OF OTHER TECHCET CMR(TM) OFFERINGS 

3 半導体産業の現状と展望

3.1 世界経済と展望
3.2 世界経済と概要
3.2.1 世界経済と半導体市場の概要
3.2.2 世界経済と半導体産業の関係
3.2.3 半導体売上高の伸び
3.2.4 台湾外注メーカーの月次売上動向
3.3 電子機器セグメント別チップ売上高
3.3.1 電子システム展望への影響要因
3.3.2 PCの見通し
3.3.3 スマートフォンの見通し
3.3.4 自動車産業の見通し
3.3.5 サーバー/IT市場
3.4 半導体製造の成長と拡大
3.4.1 巨大なチップ拡張投資の真っ只中
3.4.2 公的資金が民間投資を刺激し、世界各地で拡大中
3.4.3 半導体サプライチェーンが米国での拡張を発表
3.4.4 設備投資動向
3.4.5 技術ロードマップ
3.5 政策・貿易動向と影響
3.6 半導体生産(ウエハスタート*)と材料の概要
3.6.1 2029年までのtechcetウェーハ着工数予測
3.6.2 2028年までのテクセ電子材料市場予測

4 プリカーサー市場の動向 

4.1 前駆体市場の動向
4.1.1 プレカーサー市場の展望
4.1.2 2023年のプリカーサ市場は2024年につながる
4.2 ロジックデバイスの成長が市場を牽引
4.3 ドラム・デバイスの成長による市場促進要因
4.3.1 ドラム市場の展望
4.4 3Dnandデバイスの成長による市場牽引要因
4.4.1 3dnand 市場展望
4.5 市場統計 - メタル・ハイケープリカーサ セグメント別5年間収益予測
4.5.1 高誘電率金属プリカーサーの市場シェア
4.5.2 METAL & HIGH-Kプリカーサの地域別売上高
4.7 プリカーサー生産能力拡張
4.7.1 投資発表概要
4.7.2 投資活動追加コメント
4.8 金属前駆体の材料供給対需要バランス ?金属前駆体の需要バランス ?総論
4.9 価格動向
4.10 技術トレンド/技術ドライバー - 概要
4.10.1 ドラムの技術動向
4.10.2 3dnandの技術動向
4.10.3 ロジック技術動向
4.10.4 ロジック技術のロードマップ
4.11 金属プリカーサー全般の技術概要
4.11.1 特殊/新興プリカーサーと応用 ?強誘電ドープHfo2
4.11.2 特殊/新興プリカーサーと応用 - ルテニウム
4.11.3 特殊/新興前駆体と応用-イグゾー
4.11.4 特殊/新興前駆体と応用 ?二次元材料
4.11.5 特殊/新興プリカーサーと応用 ?金属酸化物レジスト
4.12 2001年以降のCVDとALDのIP出願
4.13 地域別の考察 ?CVDとALDのIP出願
4.13.1 地域的側面と促進要因
4.14 EHSと貿易・物流問題 
4.14.1 EHSの問題
4.14.2 貿易/物流問題
4.15 アナリストによるプリカーサー市場動向の評価

5 供給側の市場活動

5.1 主要サプライヤー - 活動と報告された収入
5.1.1 当四半期の活動 ?エア・リキード Q1/2025
5.1.2 当四半期の活動 ?メルク(EMD) Q1/2025
5.1.3 当四半期の活動 ?2024年第4四半期
5.1.4 当四半期の活動 ?デュポン 2025年第1四半期
5.2 事業売却、M&A、パートナーシップ
5.2.1 事業売却、M&Aおよびパートナーシップ  - QNITY
5.2.2 事業売却、M&A、パートナーシップ  - 韓国のサプライヤー
5.2.3 分割、M&A、パートナーシップ  - JSR
5.3 工場閉鎖
5.4 新規参入?なし
5.5 廃止の可能性があるサプライヤーまたは部品・製品ライン - なし
5.6 テクセットアナリストによるプリカーサプライヤーの評価

6 下層サプライチェーン、材料

6.1 次サプライチェーン:供給源と市場の概要
6.2 サブティアサプライチェーン:前駆体の主要製造ソース
6.3 OEMサブティアのALD/CVD装置M&A
6.4 ノーベル金属サプライヤーの市場動向 
6.5 産業用と半導体用半導体グレードサブティアの品質
6.6 サブティアサプライチェーン:サブティア前駆体市場ランキング
6.6.1 半導体グレードサブティア前駆体サプライヤーニュース
6.7 金属前駆体原料サプライチェーンの懸念
6.7.1 原材料の能力拡張
6.8 サブティアサプライチェーン:混乱
6.9 サブティアサプライチェーンにおける現地投資へのシフト
6.9.1 サブティアサプライチェーンにおけるレアアースの現地投資へのシフト
6.9.2 サブティア・サプライチェーンにおける現地投資へのシフト - レアアース事業拡大において
6.10 サブティアサプライチェーンのEHSと物流の課題
6.10.1 サブティアサプライチェーンのEHSとロジスティクスの課題 ?原材料の種類
6.11 サブティア供給チェーンの工場閉鎖?現在までなし
6.12 サブティアサプライチェーンの価格動向
6.13 サブティアサプライチェーン技術アナリスト評価

サプライヤー7社のプロファイル 

株式会社アデカ 
エアリキード(メーカー、清浄機、サプライヤー) 
AZMAX CO., LTD 
シティ・ケミカル  
DNF CO., LTD 
その他 …

8 APPENDIX 

8.1 前駆体?半導体応用のために研究されたCVDおよびALD前駆体の文献調査

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図表リスト

図と表

図1.1:メタル・ハイケープレカーサのセグメント別売上高予測 (百万米ドル)
図1.2:世界市場シェア ?メタル・ハイケープリカーサ 2024年 (9億2,100万米ドル)
図1.3: プリカーサーメーカー上位5社の四半期売上高合計
図3.1: GDP成長率の推移と予測(2000年~2029年)
図3.2: 世界経済とエレクトロニクスサプライチェーン(2024年)
図3.3: 世界の半導体売上高($b)
図3.4: テクセットの台湾半導体産業指数(TTSI)モメンタム・トラッカー
図3.5: 2024年半導体チップアプリケーション
図3.6: スマートフォン出荷台数(世界推計 
図3.7:世界の軽自動車生産台数予測(単位:百万台)
図3.8:米国のEV小売シェア予測
図3.9: 自動車用半導体の売上高推移と予測(推定、億米ドル)
図3.10: AIの価値予測($b's USD)
図3.11:今日のAI中心のデータセンターの規模
図3.12:TSMCフェニックス工場への投資額は650億ドルを超える
図3.13: 2024-2029年の世界のファブ投資額(8,586億ドル)の予測
図3.14:発表された公的刺激策と各半導体チップ製造地域
図 3.15: 米国内の半導体サプライチェーン拡大
図3.16: 世界の設備投資総額 (US$ m)
図3.17: ノード別SMCロジックロードマップ
図3.18:TECCETのノード別ウェーハスタート予測 200mm換算で年間数百万枚
図 3.19: テクセットの世界電子材料予測(百万米ドル)
図 4.1:ロジックウエハースタート、サブ65nm
図4.2:ドラマウェーハの生産開始
図4.3: HBMの積層構成
図4.4:ナンドウェハスタート
図4.5: ラムリサーチのALTUS(R) HALO
図4.6:メタル・ハイケープレカーサのセグメント別売上高予測(百万米ドル)
図4.7: 世界市場シェア?メタル・ハイケープレカーサ 2024 (921 百万米ドル)
図4.8: 高誘電率金属プリカーサの地域別売上高
図4.9: 先端デバイス技術がALDプレカーサーの需要を牽引
図 4.10: 先端デバイス技術のロードマップ ?リスクスタートを含むhvmドラマ
図 4.11: 先端デバイス技術のロードマップ ?リスクスタートを含むhvm 3d nand
図 4.12: 先端デバイス技術ロードマップの概要 ?hvmロジック/ファウンドリ(リスクスタートを含む
図4.13: 2009年から2025年までのロジックゲート構造のセムス
図 4.14: 高帯域幅メモリ(HBM ドラマ)
図4.15: キャパシタレス3Dドラマ
図4.16:材料が可能にするドラマの進展(2Dから3Dへ
図4.17: 1T1Cメモリ層を持つ32GB NVDRAMの半断面(中央
図4.18:インテルによる減法ルテニウム(RU)の進歩
図4.19:デュアルゲート(RU)TFT
図 4.20:Applied Materials Endura(tm) copper barrier seed ims(tm) concept
図4.21:キャパシタ・レス・イグゾ・ベース・ドラ ム
図4.22: 縮小Gaa 2Dフェットのゲート酸化膜
図4.23:ドライレジストのプロセスフローとテストパターンsem
図4.24:Euvアプリケーションのためのntレジストパターンとsem
図4.25: 2001年以降のCVDとALDの企業別特許出願数
図4.26:2001年以降のCVDとALD特許出願件数
図4.27: 2001年以降のCVDとALD特許出願のマッピング位置
図4.28:ムーア法の環境フットプリント-CO2排出量(最先端ノードのエネルギー消費ランプ)
図 4.29: euv の影響 - 電気エネルギー消費量
図 4.30: インテルと TSMC の持続可能性目標
図5.1:プリカーサーメーカー上位5社の四半期売上高合計
図5.2: Air Liquideの今四半期財務状況
図5.3:メルクの当四半期財務
図5.4:アデカの当四半期財務
図5.5: デュポンの当四半期財務状況
図6.1:重要原材料(CRM)の世界生産量
図6.2:アジアと米国のチップファブ製造能力 1990-2023年1990-2023
図6.3: コバルトの精製プロセスフロー
図6.4:中国が支配する金属の価格動向

表1.1:収益予測
表1.2:サプライヤー別推定市場シェア
表3.1:世界のGDPと半導体収入
表3.2:当初発表*の米国相互関税スケジュール
表3.3:世界のPCセグメント別予測
表3.4:2025年IT市場支出予測
表4.1:収益予測
表4.2:サプライヤー別推定市場シェア ?メタル&High-kプリカーサ
表4.3: 発表された2024/2025年プリカーサー・サプライヤー投資の概要
表4.4:TSMC組み込みリレイムチップ技術
表4.5: サプライヤーと前駆体リスト
表4.6:イグゾ前駆体と蒸着用途
表4.7:地域別前駆体市場ダイナミクスの説明
表4.8:半導体製造業界のリーダーによるESG報告
表6.1:RUプリカーサーとCAS番号
表6.2:サブティアのプリカーサ需要 半導体対電子対半導体エレクトロニクス VS.工業用
表6.3:2024年サブ・ティア前駆体サプライヤー上位7社ランキング  
表6.4:主要金属の関税232条に対する中国の反応  
表8.1:2次元金属前駆体&用途リスト 
表8.2:本レポートで調査した金属前駆体および用途リスト

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プレスリリース

2024年8月1日
先端アプリケーションが牽引する半導体ALD/CVD前駆体

Mo、WF6、Co前駆体が大きく成長
2024年8月1日、カリフォルニア州サンディエゴ発: 
半導体サプライチェーンの回復力を高めるための材料市場情報を提供するアドバイザリー会社TECHCETは、2024年の半導体金属および酸化物前駆体の売上高が17億米ドルに達し、2023年比で15%増加すると予測している。これは全てのフロントプロセス材料セグメントの中で最も高い成長率である。金属/金属酸化物プリカーサは市場の大半を占め、予想収益は9億7200万米ドル、誘電体プリカーサは合計7億4200万米ドルになると予想される。プリカーサ市場は2023年から2028年にかけて年平均成長率9%で増加すると予測される。市場予測とトレンドに関する詳細情報は、ALD/CVD前駆体に関するTECHCETの新しいCritical Materials Reports(TM) に掲載されている。

金属および誘電体前駆体市場の収益予測

次世代ロジック、DRAM、3D NANDデバイスに不可欠なGAA FET、EUVリソグラフィ、High-k/メタルゲートトランジスタなどの先端プロセス技術に多額の投資が行われている。プリカーサの収益成長の回復は、AIと先端技術アプリケーションによって牽引されている。さらに、2nmロジックノード以降のバックサイドパワーデリバリのためのメタライゼーションもメタルプリカーサの成長を押し上げている。

モリブデン(Mo)前駆体、特にMoO2Cl2は、その良好な電気特性と次世代デバイスへの応用により、高い成長が予測される。先端デバイス・ノードと強く結びついている他のプリカーサには、コバルト・プリカーサ(CoCOCpとCCTBA)と六フッ化タングステン(WF6)がある。

より持続可能で効率的な生産方法へのシフトは、環境負荷の低減と製造効率の改善に焦点を当てた新しいプレカーサーの開発に影響を及ぼしている。

業界の大手企業は、増大する需要に対応するため、生産能力を拡大している。エア・リキード、メルク、ジェレスト/三菱化学グループなどの企業は、台湾、韓国、米国などの主要地域で生産設備に多額の投資を行っている。

 

 

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Summary

This report covers the market landscape and supply-chain for Precursors used in semiconductor device fabrication. It includes information about key suppliers, issues/trends in the material supply chain, estimates on supplier market share, and forecast for the material segments.

• Provides market and technical trend information on organic and inorganic precursors, addressing CVD, ALD applications including high κ metal-oxides, barrier layers, metal interconnects, and capping layers, among others.
• Provides focused information for supply-chain managers, process integration and R&D directors, as well as business development and financial analysts
• Covers information about key suppliers, issues/trends in the electronics material supply chain, estimates on supplier market share, and forecast for the electronics material segments
• Includes 3 Quarterly Updates, with updates on market trends and forecasts from the analyst

 



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Table of Contents

1 EXECUTIVE SUMMARY

1.1 PRECURSORS MARKET TRENDS
1.2 MARKET TRENDS IMPACTING 2025 OUTLOOK
1.3 METAL & HIGH-K PRECURSORS 5-YEAR UNIT SHIPMENT FORECAST BY SEGMENT
1.4 PRECURSOR SEGMENT TRENDS
1.5 TECHNOLOGY TRENDS
1.6 METAL & HIGH-K PRECURSORS PRODUCTION CAPACITY OF TOP SUPPLIERS
1.7 CURRENT QUARTER TOP-5 PRECURSOR SUPPLIERS'ACTIVITIES & REPORTED REVENUES
1.8 EHS, TRADE, AND/OR LOGISTICS ISSUES/CONCERNS
1.9 ANALYST ASSESSMENT OF METAL & HI K PRECURSORS MATERIALS

2 SCOPE, PURPOSE AND   METHODOLOGY

2.1 SCOPE, PURPOSE & METHODOLOGY
2.2 OVERVIEW OF OTHER TECHCET CMR(TM) OFFERINGS 

3 SEMICONDUCTOR INDUSTRY MARKET STATUS & OUTLOOK

3.1 WORLDWIDE ECONOMY AND OUTLOOK
3.2 WORLDWIDE ECONOMY AND OVERVIEW
3.2.1 WORLDWIDE ECONOMY AND SEMICONDUCTOR MARKET OVERVIEW
3.2.2 SEMICONDUCTOR INDUSTRIES TIES TO THE GLOBAL ECONOMY
3.2.3 SEMICONDUCTOR SALES GROWTH
3.2.4 TAIWAN OUTSOURCE MANUFACTURER MONTHLY SALES TRENDS
3.3 CHIPS SALES BY ELECTRONIC GOODS SEGMENT
3.3.1 FACTORS IMPACTING ELECTRONIC SYSTEMS OUTLOOK
3.3.2 PC OUTLOOK
3.3.3 SMARTPHONE OUTLOOK
3.3.4 AUTOMOTIVE INDUSTRY OUTLOOK
3.3.5 SERVERS / IT MARKET
3.4 SEMICONDUCTOR FABRICATION GROWTH & EXPANSION
3.4.1 IN THE MIDST OF HUGE INVESTMENT IN CHIP EXPANSIONS
3.4.2 PUBLIC FUNDS STIMULATING PRIVATE INVESTMENTS IN EXPANSION ACROSS THE GLOBE
3.4.3 SEMICONDUCTOR SUPPLY CHAIN ANNOUNCED EXPANSIONS IN THE US
3.4.4 EQUIPMENT SPENDING TRENDS
3.4.5 TECHNOLOGY ROADMAPS
3.5 POLICY & TRADE TRENDS AND IMPACT
3.6 SEMICONDUCTOR PRODUCTION (WAFER STARTS*) AND MATERIALS OVERVIEW
3.6.1 TECHCET WAFER STARTS FORECAST THROUGH 2029
3.6.2 TECHCET ELECTRONIC MATERIALS MARKET FORECAST THROUGH 2028

4 PRECURSOR MARKET TRENDS 

4.1 PRECURSORS MARKET TRENDS
4.1.1 PRECURSOR MARKET OUTLOOK
4.1.2 2023 PRECURSOR MARKET LEADING INTO 2024
4.2 MARKET DRIVERS FROM LOGIC DEVICE GROWTH
4.3 MARKET DRIVERS FROM DRAM DEVICE GROWTH
4.3.1 DRAM MARKET OUTLOOK
4.4 MARKET DRIVERS FROM 3DNAND DEVICE GROWTH
4.4.1  3DNAND MARKET OUTLOOK
4.5 MARKET STATISTICS - METAL & HIGH-K PRECURSORS 5-YEAR REVENUE FORECAST BY SEGMENT
4.5.1 METAL & HIGH-K PRECURSORS SUPPLIER MARKET SHARES
4.5.2 METAL & HIGH-K PRECURSOR REVENUE BY REGION
4.7 PRECURSOR PRODUCTION CAPACITY EXPANSIONS
4.7.1 INVESTMENT ANNOUNCEMENTS OVERVIEW
4.7.2 INVESTMENT ACTIVITY ADDITIONAL COMMENTS
4.8 MATERIAL SUPPLY VS. DEMAND BALANCE OF METAL PRECURSORS – GENERAL COMMENTS
4.9 PRICING TRENDS
4.10 TECHNOLOGY TRENDS/TECHNICAL DRIVERS - OUTLINE
4.10.1 DRAM TECHNOLOGY TRENDS
4.10.2 3DNAND TECHNOLOGY TRENDS
4.10.3 LOGIC TECHNOLOGY TRENDS
4.10.4 LOGIC TECHNOLOGY ROADMAP
4.11 METAL PRECURSOR GENERAL TECHNOLOGY OVERVIEW
4.11.1 SPECIALTY/EMERGING PRECURSOR AND APPLICATIONS – FERROELECTRIC DOPED HFO2
4.11.2 SPECIALTY/EMERGING PRECURSOR AND APPLICATIONS - RUTHENIUM
4.11.3 SPECIALTY/EMERGING PRECURSOR AND APPLICATIONS - IGZO
4.11.4 SPECIALTY/EMERGING PRECURSOR AND APPLICATIONS – 2D MATERIALS
4.11.5 SPECIALTY/EMERGING PRECURSOR AND APPLICATIONS – METAL OXIDE RESIST
4.12 IP FILING CVD AND ALD SINCE 2001
4.13 REGIONAL CONSIDERATIONS – IP FILING IN CVD AND ALD
4.13.1 REGIONAL ASPECTS AND DRIVERS
4.14 EHS AND TRADE/LOGISTIC ISSUES 
4.14.1 EHS ISSUES
4.14.2 TRADE/LOGISTICS ISSUES
4.15  ANALYST ASSESSMENT OF PRECURSOR MARKET TRENDS

5 SUPPLY-SIDE MARKET ACTIVITY

5.1 LEADING SUPPLIERS - ACTIVITIES & REPORTED REVENUES
5.1.1 CURRENT QUARTER ACTIVITY – AIR LIQUIDE Q1/2025
5.1.2 CURRENT QUARTER ACTIVITY – MERCK (EMD) Q1/2025
5.1.3 CURRENT QUARTER ACTIVITY – ADEKA Q4/2024
5.1.4 CURRENT QUARTER ACTIVITY – DUPONT Q1/2025
5.2 DIVESTITURES, M&A AND PARTNERSHIPS
5.2.1 DIVESTITURES, M&A AND PARTNERSHIPS  - QNITY
5.2.2 DIVESTITURES, M&A AND PARTNERSHIPS  - KOREAN SUPPLIERS
5.2.3 DIVESTITURES, M&A AND PARTNERSHIPS  - JSR
5.3 PLANT CLOSURES
5.4 NEW ENTRANTS – NONE TO REPORT
5.5 SUPPLIERS OR PARTS/PRODUCT LINES THAT ARE AT RISK OF DISCONTINUATIONS - NONE
5.6 TECHCET ANALYST ASSESSMENT OF PRECURSOR SUPPLIERS

6 SUB-TIER SUPPLY CHAIN, MATERIAL

6.1 SUB-TIER SUPPLY CHAIN: SOURCES & MARKETS OVERVIEW
6.2 SUB-TIER SUPPLY CHAIN: KEY MANUFACTURING SOURCES OF PRECURSORS
6.3 ALD/CVD EQUIPMENT M&A OF THE OEM SUB-TIER
6.4 NOBEL METAL SUPPLIERS MARKET TRENDS 
6.5 INDUSTRIAL VS. SEMICONDUCTOR-GRADE - TIER-1 VS. SUB-TIER QUALITY
6.6 SUB-TIER SUPPLY CHAIN: SUB-TIER PRECURSOR MARKET RANKING
6.6.1 SEMICONDUCTOR-GRADE SUB-TIER PRECURSOR SUPPLIER NEWS
6.7 METAL PRECURSOR RAW MATERIALS SUPPLY CHAIN CONCERNS
6.7.1 RAW MATERIALS CAPACITY EXPANSIONS
6.8 SUB-TIER SUPPLY-CHAIN: DISRUPTIONS
6.9 SHIFT TO LOCAL INVESTMENT IN THE SUB-TIER SUPPLY-CHAIN
6.9.1 SHIFT TO LOCAL INVESTMENT IN THE SUB-TIER SUPPLY-CHAIN - IN RARE EARTHS
6.9.2 SHIFT TO LOCAL INVESTMENT IN THE SUB-TIER SUPPLY-CHAIN - IN RARE EARTHS EXPANSIONS
6.10 SUB-TIER SUPPLY-CHAIN EHS AND LOGISTICS ISSUES
6.10.1 SUB-TIER SUPPLY-CHAIN EHS AND LOGISTICS ISSUES – LISTED MATERIAL TYPE
6.11 SUB-TIER SUPPLY-CHAIN PLANT CLOSURES – NONE TO DATE
6.12 SUB-TIER SUPPLY-CHAIN PRICING TRENDS
6.13 SUB-TIER SUPPLY-CHAIN TECHCET ANALYST ASSESSMENT

7 SUPPLIER PROFILES 

ADEKA CORPORATION 
AIR LIQUIDE (MAKER, PURIFIER, SUPPLIER) 
AZMAX CO., LTD 
CITY CHEMICAL LLC  
DNF CO., LTD 
AND MORE …

8 APPENDIX 

8.1  PRECURSOR – LITERATURE SURVEY OF CVD AND ALD PRECURSORS STUDIED FOR SEMICONDUCTOR APPLICATIONS

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List of Tables/Graphs

FIGURES and TABLES

FIGURES

FIGURE 1.1: METAL & HIGH-K PRECURSORS REVENUE FORECAST BY SEGMENT  (US $M'S)
FIGURE 1.2: WW MARKET SHARE – METAL & HIGH-K PRECURSORS 2024 (U$ 921 M)
FIGURE 1.3: TOP-5 PUBLIC PRECURSOR MAKERS'QUARTERLY COMBINED SALES
FIGURE 3.1: HISTORICAL AND FORECASTED GDP GROWTH (2000 – 2029)
FIGURE 3.2: GLOBAL ECONOMY AND THE ELECTRONICS SUPPLY CHAIN (2024)
FIGURE 3.3: WORLDWIDE SEMICONDUCTOR SALES ($B)
FIGURE 3.4: TECHCET'S TAIWAN SEMICONDUCTOR INDUSTRY INDEX (TTSI) MOMENTUM TRACKER
FIGURE 3.5: 2024 SEMICONDUCTOR CHIP APPLICATIONS
FIGURE 3.6: SMARTPHONE SHIPMENTS, WW ESTIMATES 
FIGURE 3.7: GLOBAL LIGHT VEHICLE PRODUCTION FORECAST (IN MILLIONS OF UNITS)
FIGURE 3.8: US EV RETAIL SHARE FORECAST
FIGURE 3.9: AUTOMOTIVE SEMICONDUCTOR REVENUES HISTORY AND FORECAST (ESTIMATED, B$'S USD)
FIGURE 3.10: AI VALUE FORECAST ($B'S USD)
FIGURE 3.11: SCALE OF TODAY'S AI-CENTRIC DATA CENTERS
FIGURE 3.12: TSMC PHOENIX FAB INVESTMENT TO EXCEED US $65B
FIGURE 3.13: ESTIMATED GLOBAL FAB INVESTMENT 2024-2029 ($858.6B)
FIGURE 3.14: ANNOUNCED PUBLIC STIMULUS AND RESPECTIVE SEMICONDUCTOR CHIP MANUFACTURING REGIONS
FIGURE 3.15: SEMICONDUCTOR SUPPLY CHAIN EXPANSIONS WITHIN THE US
FIGURE 3.16: GLOBAL TOTAL EQUIPMENT SPENDING (US$ M)
FIGURE 3.17: TSMC LOGIC ROADMAP BY NODE
FIGURE 3.18: TECHCET WAFER START FORECAST BY NODE SEGMENTS MILLIONS OF 200MM EQUIVALENTS PER YEAR
FIGURE 3.19: TECHCET WORLDWIDE ELECTRONIC MATERIALS FORECAST ($M USD)
FIGURE 4.1: LOGIC WAFER STARTS, SUB 65 NM
FIGURE 4.2: DRAM WAFER STARTS
FIGURE 4.3: HBM STACKING CONFIGURATIONS
FIGURE 4.4: NAND WAFER STARTS
FIGURE 4.5: LAM RESEARCH'S ALTUS(R) HALO
FIGURE 4.6: METAL & HIGH-K PRECURSORS REVENUE FORECAST BY SEGMENT (US$ M'S)
FIGURE 4.7: WW MARKET SHARE – METAL & HIGH-K PRECURSORS 2024 (U$ 921 M)
FIGURE 4.8: METAL & HIGH-K PRECURSOR REVENUE BY REGION
FIGURE 4.9: ADVANCED DEVICE TECHNOLOGY DRIVE DEMAND FOR MORE ALD PRECURSORS
FIGURE 4.10: ADVANCED DEVICE TECHNOLOGY ROADMAP – HVM DRAM, INCLUDING RISK STARTS
FIGURE 4.11: ADVANCED DEVICE TECHNOLOGY ROADMAP OVERVIEW – HVM 3D NAND, INCLUDING RISK STARTS
FIGURE 4.12: ADVANCED DEVICE TECHNOLOGY ROADMAP OVERVIEW – HVM LOGIC/FOUNDRY, INCLUDING RISK STARTS
FIGURE 4.13: SEMS OF LOGIC GATE STRUCTURES 2009 TO BEYOND 2025
FIGURE 4.14: HIGH BANDWIDTH MEMORY (HBM DRAM)
FIGURE 4.15: CAPACITORLESS 3D DRAM
FIGURE 4.16: ADVANCING DRAM (2D TO 3D) ENABLED BY MATERIALS
FIGURE 4.17: SEM CROSS-SECTION (CENTER) OF A 32GB NVDRAM WITH 1T1C MEMORY LAYERS
FIGURE 4.18: SUBTRACTIVE RUTHENIUM (RU) ADVANCEMENT BY INTEL
FIGURE 4.19: DUAL GATED (RU) TFT
FIGURE 4.20: APPLIED MATERIALS ENDURA(TM) COPPER BARRIER SEED IMS(TM) CONCEPT
FIGURE 4.21: CAPACITOR-LESS IGZO-BASED DRAM
FIGURE 4.22: GATE OXIDE FOR SCALED GAA 2D FET
FIGURE 4.23: DRY RESIST PROCESS FLOW AND TEST PATTERN SEM
FIGURE 4.24: NT RESIST PATTERNING & SEM FOR EUV APPLICATIONS
FIGURE 4.25: CVD AND ALD PATENT FILING SINCE 2001 BY COMPANY
FIGURE 4.26: NUMBER OF CVD AND ALD PATENT FILING SINCE 2001
FIGURE 4.27: MAPPING LOCATION OF CVD AND ALD PATENT FILING SINCE 2001
FIGURE 4.28: ENVIRONMENTAL FOOTPRINT OF MOORES LAW - CO2 EMISSIONS (ENERGY CONSUMPTION RAMP OF LEADING EDGE NODES)
FIGURE 4.29: IMPACT OF EUV - ELECTRICAL ENERGY CONSUMPTION
FIGURE 4.30: INTEL AND TSMC SUSTAINABILITY GOALS
FIGURE 5.1: TOP-5 PUBLIC PRECURSOR MAKERS'QUARTERLY COMBINED SALES
FIGURE 5.2: AIR LIQUIDE CURRENT QUARTER FINANCIALS
FIGURE 5.3: MERCK CURRENT QUARTER FINANCIALS
FIGURE 5.4: ADEKA CURRENT QUARTER FINANCIALS
FIGURE 5.5: DUPONT CURRENT QUARTER FINANCIALS
FIGURE 6.1: GLOBAL PRODUCTION OF CRITICAL RAW MATERIALS (CRM)
FIGURE 6.2: CHIP FAB MANUFACTURING CAPACITY OF ASIA VS. US 1990-2023
FIGURE 6.3: REE REFINING PROCESS FLOW (I.E., COBALT)
FIGURE 6.4: PRICE TREND IN METALS CONTROLLED BY CHINA

TABLES

TABLE 1.1: REVENUE FORECASTS
TABLE 1.2: ESTIMATED MARKET SHARE BY SUPPLIER
TABLE 3.1: GLOBAL GDP AND SEMICONDUCTOR REVENUES
TABLE 3.2: INITIALLY ANNOUNCED* US RECIPROCAL TARIFF SCHEDULE
TABLE 3.3: WORLDWIDE PC FORECAST BY SEGMENT
TABLE 3.4: IT MARKET SPENDING FORECAST, 2025
TABLE 4.1: REVENUE FORECASTS
TABLE 4.2: ESTIMATED MARKET SHARE BY SUPPLIER – METAL & HIGH-K PRECURSORS
TABLE 4.3:  OVERVIEW OF ANNOUNCED 2024/2025 PRECURSOR SUPPLIER INVESTMENTS
TABLE 4.4: TSMC EMBEDDED RERAM CHIPS TECHNOLOGY
TABLE 4.5: SUPPLIERS AND PRECURSORS LISTING
TABLE 4.6: IGZO PRECURSORS AND DEPOSITION APPLICATION
TABLE 4.7: DESCRIPTIONS OF PRECURSOR MARKET DYNAMICS BY REGION
TABLE 4.8: ESG REPORTING BY INDUSTRY LEADERS IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING
TABLE 6.1: RU PRECURSORS & CAS NUMBER
TABLE 6.2: SUB-TIER PRECURSOR DEMAND SEMICONDUCTOR VS. ELECTRONIC VS. INDUSTRIAL
TABLE 6.3: 2024 SUB-TIER PRECURSOR SUPPLIERS RANKING OF THE TOP 7  
TABLE 6.4: CHINA REACTION TO SECTION 232 TARIFFS FOR KEY METALS  
TABLE 8.1: 2D METAL PRECURSORS & APPLICATIONS LISTING 
TABLE 8.2: METAL PRECURSORS & APPLICATIONS LISTING INVESTIGATED FOR THIS REPORT

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Press Release

August 1, 2024
Semiconductor ALD/CVD Precursors Driven by Advanced Applications

Mo, WF6, and Co precursors to see significant growth
San Diego, CA, August 1, 2024: 
TECHCET — the advisory firm providing materials market information for semiconductor supply chain resilience — is forecasting semiconductor metal and oxide precursors to reach US$1.7 B in revenues in 2024, rising 15% over 2023. This is the highest growth rate among all front process materials segments. Metal/Metal-oxide precursors occupy the majority of the market with expected revenues at $972 M, while Dielectric Precursors are expected to total US$742 M. The precursor market is forecasted to increase at a 9% CAGR from 2023-2028. More information on market forecasting and trends is included in TECHCET’s new Critical Materials Reports™ on ALD/CVD Precursors.

Metal and Dielectric Precursor Market Revenue Forecast

Significant investments are being made in advanced process technologies such as GAA FETs, EUV lithography, and high-k/metal gate transistors, all of which are crucial for next-generation Logic, DRAM, and 3D NAND devices. Recovery of precursor revenue growth is being driven by AI and advanced technology applications. Additionally, metallization for backside power delivery at 2nm logic nodes and beyond is also pushing up growth for metal precursors.

Molybdenum (Mo) precursors, specifically MoO2Cl2, are projected to experience high growth due to their favorable electrical properties and application in next-generation devices. Other precursors strongly tied to advanced device nodes include Cobalt precursors (CoCOCp and CCTBA) and Tungsten Hexafluoride (WF6).

The shift towards more sustainable and efficient production methods is influencing the development of new precursors, with a focus on reducing environmental impact and improving manufacturing efficiency.

Major industry players are expanding their production capacities in order to meet growing demand. Companies such as Air Liquide, Merck, and Gelest/Mitsubishi Chemical Group are making significant investments in production facilities in key regions like Taiwan, South Korea, and the US.

 

 

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