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半導体工場のファクトリーオートメーション:技術課題と市場予測

Semiconductor Factory Automation: Technology Issues and Market Forecasts

半導体プロセスレポートシリーズ

 

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2020年7月US$4,995
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サマリー

この調査レポートは半導体工場の自動化を調査し、主要プレイヤ、半導体工場自動化への推進力について分析・解析しています。市場は自動搬送ツール、キャリア輸送、生産実行システム(MES)ソフトウェア、計3つに分類しています。

This report addresses these technical issues, presenting an analysis of the semiconductor factory automation industry, the key players, and the driving forces directing semiconductor factory automation. Markets are segmented as: 1. Automated transfer tools (robots, elevators, platforms, etc.), 2. Carrier transport (monorail, AGV, AS/RS, etc.), 3. Manufacturing execution systems (MES) software.



目次

TABLE OF CONTENTS

Chapter 1    Introduction    1--‐1

Chapter 2    Executive Summary    2--‐1

2.1    Summary of Major Issues    2--‐1
2.2    Summary of Market Forecasts    2--‐4

Chapter 3    Driving Forces    3--‐1

3.1    Introduction    3--‐1
3.2    Trend to 300/450mm Wafers    3--‐3
3.3    Development Costs    3--‐6
3.4    Single--‐Wafer Processing    3--‐7
3.5    Trends in Processing Tools    3--‐8
3.6    Automation Trends    3--‐11
3.7    Benefits of Automated Wafer Handling    3--‐20

Chapter 4    Software    4--‐1

4.1    Introduction    4--‐1
4.2    The Evolution of CIM    4--‐2
4.3    MES in Industry    4--‐5
4.3.1    MES Functionalities    4--‐13
4.3.2    MES Products    4--‐16
4.4    Communication Standards    4--‐38
4.5    Sematech CIM Framework    4--‐45

Chapter 5    Hardware    5--‐1

5.1    Introduction    5--‐1
5.2    Elements of Automation    5--‐7
5.2.1    Tool Automation    5--‐8
5.2.2    Intrabay Automation    5--‐10
5.2.3    Interbay Automation    5--‐12
5.2.4    Material--‐Control System    5--‐15
5.3    Flexible Automation    5--‐17
5.4    Reliability    5--‐19
5.5    Tool Issues and Trends    5--‐20
5.5.1    Flexible Tool Interface    5--‐20
5.5.2    Vacuum Robotics    5--‐39
5.5.3    AGV    5--‐48
5.5.4    Robot Control Systems    6--‐52
5.5.5    300--‐mm Wafer Transport    5--‐53
5.5.6    Mini--‐Environments and Cleanroom Issues    5--‐56
5.6    E--‐Manufacturing    5--‐60

Chapter 6    Market Analysis    6--‐1

6.1    Market Forces    6--‐1
6.2    Market Forecast Assumptions    6--‐16
6.3    Market Forecast    6--‐17
6.3.1    Automated Transfer Tool Market    6--‐17
6.3.2    Carrier Transport Market    6--‐28
6.3.3    MES Software Market    6--‐38

Chapter 7    User Issues    7--‐1

7.1    Current Automation Thinking    7--‐1
7.2    The New Factory Paradigm    7--‐2
7.3    The New Factory in Action    7--‐3
7.4    Return on Investment Considerations    7--‐3
7.5    Eight Symptoms of the Old Paradigm    7--‐5
7.6    Putting the New Paradigm to Work    7--‐6

List of Figures

1.1    Advanced CIM System    1--‐3
3.1    Automated Materials Handling System (AMHS) Framework    3--‐16
4.1    Evolution of CIM    4--‐3
4.2    Computer Integrated Fab Environment    4--‐6
4.3    Message Integration in CIM    4--‐8
4.4    Sematech CIM Framework Scope    4--‐47
5.1    Material--‐Control System    5--‐16
5.2    Traditional and Flexible Automated Material Handling System    5--‐18
5.3    Overhead Monorail Delivery --‐ Cassette in Box, Cassette in SMIF Pod    5--‐23
5.4    Stocker Design and Interfaces    5--‐58
5.5    Layout Of a 45nm 300mm Fab    5--‐64
5.6    Interfaces To Factory Automation Systems    5--‐68
6.1    Semiconductor Equipment Utilization    6--‐7
6.2    Revenue Losses from Wafer Defects    6--‐8
6.3    Market Shares of Atmospheric Robot Suppliers    6--‐25
6.4    Market Shares of Vacuum Robot Suppliers    6--‐26
6.6    Worldwide Market Shares of Carrier Transport Suppliers    6--‐32
6.7    Worldwide Market of Shares MES Software Suppliers    6--‐43

List of Tables

5.1    Evolution Of Factory Metrics    5--‐58
6.1    Three--‐Year Savings for Automation    6--‐10
6.2    Cost of Alternative Automated Systems    6--‐11
6.3    Three--‐year Costs for Alternative Automated Systems    6--‐12
6.4    Worldwide Forecast of Automated Transfer Tools    6--‐20
6.5    Bill Of Materials For Atmospheric Automation Tool    6--‐22
6.6    Bill Of Materials For PVD Vacuum Tool    6--‐23
6.7    Process Tool Automation For 300mm Fabs    6--‐27
6.8    Worldwide Forecast of Carrier Transport Market    6--‐30
6.9    300mm Fab Construction Plans    6--‐34
6.10    Worldwide Forecast of MES Software    6--‐49

 

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