半導体前駆体供給システムの世界市場レポート、競争分析と地域機会 2025-2031

Global Semiconductor Precursor Delivery System Sales Market Report, Competitive Analysis and Regional Opportunities 2025-2031

世界の半導体前駆体供給システム市場規模は、2024年には4億6800万米ドルであり、2031年には7億6900万米ドルに再調整されると予測され、予測期間2025-2031年のCAGRは6.8%である。 2025年までに、進化する米国の... もっと見る

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QYResearch QYリサーチ	2025年5月13日	US$4,250 シングルユーザライセンスライセンス・価格情報注文方法はこちら	5-7営業日	英語

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サマリー

世界の半導体前駆体供給システム市場規模は、2024年には4億6800万米ドルであり、2031年には7億6900万米ドルに再調整されると予測され、予測期間2025-2031年のCAGRは6.8%である。

2025年までに、進化する米国の関税政策は、世界経済の展望にかなりの不確実性を注入する態勢を整えている。本レポートでは、米国の最新の関税措置とそれに対応する世界各国の政策対応を掘り下げ、半導体前駆体供給システム市場の競争力、地域経済パフォーマンス、サプライチェーン構成への影響を評価する。

半導体前駆体供給システムは、半導体製造における中核的なサブシステムであり、気体、液体、固体の前駆体（シラン、TEOS、六フッ化タングステンなど）を化学気相成長（CVD）または原子層堆積（ALD）反応室に安全かつ正確に供給するために使用される。その核となるコンポーネントには、プリカーサー貯蔵源（高圧ガスシリンダー、加熱昇華チャンバー）、精密流量・圧力コントローラー（マスフローメーターMFCなど）、耐腐食性ガスパイプラインネットワーク（ステンレススチール／不活性コーティング）、安全隔離装置（ガスキャビネット、リーク検知、排ガス処理システム）、自動統合インターフェースが含まれます。このシステムは、温度制御、リアルタイムモニタリング、高速バルブスイッチング（ALDパルスシーケンスなど）により、プリカーサーの純度（＞6N）とデリバリーの安定性を確保し、有害物質（ヒ素など）のリークリスクを防ぎます。その性能は、薄膜の均一性、ドーピング精度、デバイスの信頼性を直接左右し、先端プロセス（3nmノード、ゲート全周型トランジスタ）や新材料（高誘電体層、二次元半導体）の量産を支える重要な要素となっている。

半導体技術がより微細なノードや複雑な構造へと進むにつれ、デリバリー・システムは課題に対応するためにアップグレードを続けている。例えば、マルチプレカーサーマニホールドはマルチエレメントナノスタック（HfO₂-Al₂O₃など）をサポートし、in-situ光学/質量分析モニタリングはクローズドループプロセスコントロールを可能にし、クラスターツールは汚染を減らすためにマルチステッププロセスを統合する。また、フッ化水素腐食に耐性のあるニッケル基合金パイプライン、熱酸化排ガス処理装置など、極端なプロセス要件にも適合しなければならない。これらの技術革新は、成膜効率や材料特性を向上させるだけでなく、先端ロジックチップやメモリー、第3世代半導体（GaNやSiCなど）の工業化を促進する。わずかな揺らぎも膜欠陥につながりかねない高精度成膜装置は、ムーアの法則の進化を支える半導体装置に不可欠な "血管網 "となっている。

半導体前駆体供給装置は、前駆体を供給するための装置である。前駆体の種類によって、ガスデリバリーシステム、液体デリバリーシステム（LDS）、固体デリバリーシステムに分けられる。前駆体の川下アプリケーション需要の成長に伴い、前駆体デリバリーシステム市場の成長はさらに促進されている。2031年までに市場規模は7億米ドルを超えると予想されている。
生産側から見ると、半導体前駆体供給システムの核心生産地域は主に欧州、米国、韓国、欧州であり、中でも欧州は最も重要な生産地域で、2024年の市場シェアの37.9%を占めている。中国の半導体前駆体供給システム企業と国際的な先進企業（MerckやAir Liquideなど）の先端プロセス分野での応用、技術、製品性能にはまだ差がある。しかし、中国地場メーカーの現地化プロセスが加速するにつれて、一部の中国地場企業もプリカーサーデリバリーシステム市場で一定の市場シェアを獲得している。例えば、江蘇耀科技有限公司やPNC Process Systems Co.また、近年は上海智慧科技、合肥Adchemなど中国地場企業の新規参入も多いが、現時点では規模は比較的小さい。今後の中国半導体市場の発展に伴い、今後数年間は中国地場メーカーの世界競争シェアが徐々に上昇し、中国が最速の成長率を維持すると予想される。国内前駆体供給システム技術の進歩、コスト優位性の出現、政策支援の強化により、2031年のシェアは23.7%に達すると予想される。

メーカーの観点から見ると、世界の半導体前駆体供給システムの中核メーカーには、主にメルクグループ、エア・リキード、エンテグリス、CSK、フーレス（江蘇耀科技）、PNCプロセスシステムなどが含まれる。2024年、世界の一流メーカーは主にMerck GroupとAir Liquideで、市場シェアは約43.81%、二流メーカーはEntegris、CSK、Foures Co., Ltd (Jiangsu Yoke Technology)、PNC Process Systems Co., Ltdなどで、合計シェアは42.9%。
世界の半導体前駆体供給システム市場は、企業別、地域（国）別、タイプ別、用途別に戦略的に区分されています。本レポートは、2020-2031年の地域別、タイプ別、用途別の売上高、収益、予測に関するデータ主導の洞察を通じて、関係者が新たな機会を活用し、製品戦略を最適化し、競合他社を凌駕することを支援します。

市場区分
企業別
メルクグループ
エア・リキード
エンテグリス
CSK
株式会社フレス
PNCプロセスシステムズ株式会社
センパシステムズ
富士フイルム
株式会社SMI
ブルックスインスツルメント
セレス・テクノロジーズ
堀場製作所
コラブラテック（エグザイト）
ステンレスデザインコンセプツ（SDC）
ブロンコスト
SVCSプロセスイノベーション
上海ウィズダムテクノロジー
タイプ別：（主要セグメントと利益率の高いイノベーションの比較）
液体デリバリーシステム（LDS）
固体前駆体供給システム
ガスデリバリーシステム
アプリケーション別：（コア需要ドライバー vs 新興機会）
PVD/CVD/ALDプロセス
エピタキシャル・エッチングプロセス
地域別
マクロ地域別分析：市場規模と成長予測
- 北米
- 欧州
- アジア太平洋
- 南米
- 中東・アフリカ
マイクロローカル市場の深層戦略的洞察
- 競争環境：プレーヤー優位 vs ディスラプター（欧州のメルクグループなど）
- 新たな製品動向：液体デリバリーシステム（LDS）の採用 vs. 固体前駆体デリバリーシステムのプレミアム化
- 需要サイドのダイナミクス：中国におけるPVD/CVD/ALDプロセスの成長 vs. 米国におけるエピタキシャル・エッチングプロセスの可能性
- 消費者ニーズの地域化：EUの規制ハードル vs インドの価格敏感度
重点市場
米国
欧州
中国
日本
韓国
(その他の地域はお客様のニーズに応じてカスタマイズ可能です)

章立て
第1章：レポートスコープ、エグゼクティブサマリー、市場進化のシナリオ（短期/中期/長期）。
第2章：世界、地域、国レベルでの半導体前駆体供給システム市場規模および成長可能性の定量分析
第3章：メーカーの競争ベンチマーク（収益、市場シェア、M&A、R&Dフォーカス）。
第4章：タイプ別セグメンテーション分析-ブルーオーシャン市場の発掘（例：中国の固体前駆体送達システム）。
第5章：用途別セグメンテーション分析-高成長する川下ビジネスチャンス（例：インドのエピタキシャル・エッチングプロセス）
第6章：地域別売上高・収益内訳（企業別、タイプ別、用途別、顧客別
第7章主要メーカープロフィール：財務、製品ポートフォリオ、戦略的展開。
第8章：市場ダイナミクス-促進要因、阻害要因、規制の影響、リスク軽減戦略。
第9章：実用的な結論と戦略的提言
なぜこのレポートなのか？
一般的なグローバル市場レポートとは異なり、本レポートはマクロレベルの業界動向と超ローカルな業務インテリジェンスを組み合わせ、半導体前駆体供給システムのバリューチェーン全体にわたるデータ主導の意思決定を支援し、以下の事項を取り上げています：
- 地域別の市場参入リスクと機会
- 地域の慣行に基づく製品ミックスの最適化
- 断片化された市場と統合された市場における競合他社の戦術

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1 Market Overview
1.1 Semiconductor Precursor Delivery System Product Scope
1.2 Semiconductor Precursor Delivery System by Type
1.2.1 Global Semiconductor Precursor Delivery System Sales by Type (2020 & 2024 & 2031)
1.2.2 Liquid Delivery System (LDS)
1.2.3 Solid Precursor Delivery Systems
1.2.4 Gas Delivery Systems
1.3 Semiconductor Precursor Delivery System by Application
1.3.1 Global Semiconductor Precursor Delivery System Sales Comparison by Application (2020 & 2024 & 2031)
1.3.2 PVD/CVD/ALD Process
1.3.3 Epitaxial and Etching Process
1.4 Global Semiconductor Precursor Delivery System Market Estimates and Forecasts (2020-2031)
1.4.1 Global Semiconductor Precursor Delivery System Market Size in Value Growth Rate (2020-2031)
1.4.2 Global Semiconductor Precursor Delivery System Market Size in Volume Growth Rate (2020-2031)
1.4.3 Global Semiconductor Precursor Delivery System Price Trends (2020-2031)
1.5 Assumptions and Limitations
2 Market Size and Prospective by Region
2.1 Global Semiconductor Precursor Delivery System Market Size by Region: 2020 VS 2024 VS 2031
2.2 Global Semiconductor Precursor Delivery System Retrospective Market Scenario by Region (2020-2025)
2.2.1 Global Semiconductor Precursor Delivery System Sales Market Share by Region (2020-2025)
2.2.2 Global Semiconductor Precursor Delivery System Revenue Market Share by Region (2020-2025)
2.3 Global Semiconductor Precursor Delivery System Market Estimates and Forecasts by Region (2026-2031)
2.3.1 Global Semiconductor Precursor Delivery System Sales Estimates and Forecasts by Region (2026-2031)
2.3.2 Global Semiconductor Precursor Delivery System Revenue Forecast by Region (2026-2031)
2.4 Major Region and Emerging Market Analysis
2.4.1 USA Semiconductor Precursor Delivery System Market Size and Prospective (2020-2031)
2.4.2 Europe Semiconductor Precursor Delivery System Market Size and Prospective (2020-2031)
2.4.3 China Semiconductor Precursor Delivery System Market Size and Prospective (2020-2031)
2.4.4 Japan Semiconductor Precursor Delivery System Market Size and Prospective (2020-2031)
2.4.5 South Korea Semiconductor Precursor Delivery System Market Size and Prospective (2020-2031)
3 Global Market Size by Type
3.1 Global Semiconductor Precursor Delivery System Historic Market Review by Type (2020-2025)
3.1.1 Global Semiconductor Precursor Delivery System Sales by Type (2020-2025)
3.1.2 Global Semiconductor Precursor Delivery System Revenue by Type (2020-2025)
3.1.3 Global Semiconductor Precursor Delivery System Price by Type (2020-2025)
3.2 Global Semiconductor Precursor Delivery System Market Estimates and Forecasts by Type (2026-2031)
3.2.1 Global Semiconductor Precursor Delivery System Sales Forecast by Type (2026-2031)
3.2.2 Global Semiconductor Precursor Delivery System Revenue Forecast by Type (2026-2031)
3.2.3 Global Semiconductor Precursor Delivery System Price Forecast by Type (2026-2031)
3.3 Different Types Semiconductor Precursor Delivery System Representative Players
4 Global Market Size by Application
4.1 Global Semiconductor Precursor Delivery System Historic Market Review by Application (2020-2025)
4.1.1 Global Semiconductor Precursor Delivery System Sales by Application (2020-2025)
4.1.2 Global Semiconductor Precursor Delivery System Revenue by Application (2020-2025)
4.1.3 Global Semiconductor Precursor Delivery System Price by Application (2020-2025)
4.2 Global Semiconductor Precursor Delivery System Market Estimates and Forecasts by Application (2026-2031)
4.2.1 Global Semiconductor Precursor Delivery System Sales Forecast by Application (2026-2031)
4.2.2 Global Semiconductor Precursor Delivery System Revenue Forecast by Application (2026-2031)
4.2.3 Global Semiconductor Precursor Delivery System Price Forecast by Application (2026-2031)
4.3 New Sources of Growth in Semiconductor Precursor Delivery System Application
5 Competition Landscape by Players
5.1 Global Semiconductor Precursor Delivery System Sales by Players (2020-2025)
5.2 Global Top Semiconductor Precursor Delivery System Players by Revenue (2020-2025)
5.3 Global Semiconductor Precursor Delivery System Market Share by Company Type (Tier 1, Tier 2, and Tier 3) & (based on the Revenue in Semiconductor Precursor Delivery System as of 2024)
5.4 Global Semiconductor Precursor Delivery System Average Price by Company (2020-2025)
5.5 Global Key Manufacturers of Semiconductor Precursor Delivery System, Manufacturing Sites & Headquarters
5.6 Global Key Manufacturers of Semiconductor Precursor Delivery System, Product Type & Application
5.7 Global Key Manufacturers of Semiconductor Precursor Delivery System, Date of Enter into This Industry
5.8 Manufacturers Mergers & Acquisitions, Expansion Plans
6 Region Analysis
6.1 USA Market: Players, Segments, Downstream and Major Customers
6.1.1 USA Semiconductor Precursor Delivery System Sales by Company
6.1.1.1 USA Semiconductor Precursor Delivery System Sales by Company (2020-2025)
6.1.1.2 USA Semiconductor Precursor Delivery System Revenue by Company (2020-2025)
6.1.2 USA Semiconductor Precursor Delivery System Sales Breakdown by Type (2020-2025)
6.1.3 USA Semiconductor Precursor Delivery System Sales Breakdown by Application (2020-2025)
6.1.4 USA Semiconductor Precursor Delivery System Major Customer
6.1.5 USA Market Trend and Opportunities
6.2 Europe Market: Players, Segments, Downstream and Major Customers
6.2.1 Europe Semiconductor Precursor Delivery System Sales by Company
6.2.1.1 Europe Semiconductor Precursor Delivery System Sales by Company (2020-2025)
6.2.1.2 Europe Semiconductor Precursor Delivery System Revenue by Company (2020-2025)
6.2.2 Europe Semiconductor Precursor Delivery System Sales Breakdown by Type (2020-2025)
6.2.3 Europe Semiconductor Precursor Delivery System Sales Breakdown by Application (2020-2025)
6.2.4 Europe Semiconductor Precursor Delivery System Major Customer
6.2.5 Europe Market Trend and Opportunities
6.3 China Market: Players, Segments, Downstream and Major Customers
6.3.1 China Semiconductor Precursor Delivery System Sales by Company
6.3.1.1 China Semiconductor Precursor Delivery System Sales by Company (2020-2025)
6.3.1.2 China Semiconductor Precursor Delivery System Revenue by Company (2020-2025)
6.3.2 China Semiconductor Precursor Delivery System Sales Breakdown by Type (2020-2025)
6.3.3 China Semiconductor Precursor Delivery System Sales Breakdown by Application (2020-2025)
6.3.4 China Semiconductor Precursor Delivery System Major Customer
6.3.5 China Market Trend and Opportunities
6.4 Japan Market: Players, Segments, Downstream and Major Customers
6.4.1 Japan Semiconductor Precursor Delivery System Sales by Company
6.4.1.1 Japan Semiconductor Precursor Delivery System Sales by Company (2020-2025)
6.4.1.2 Japan Semiconductor Precursor Delivery System Revenue by Company (2020-2025)
6.4.2 Japan Semiconductor Precursor Delivery System Sales Breakdown by Type (2020-2025)
6.4.3 Japan Semiconductor Precursor Delivery System Sales Breakdown by Application (2020-2025)
6.4.4 Japan Semiconductor Precursor Delivery System Major Customer
6.4.5 Japan Market Trend and Opportunities
6.5 South Korea Market: Players, Segments, Downstream and Major Customers
6.5.1 South Korea Semiconductor Precursor Delivery System Sales by Company
6.5.1.1 South Korea Semiconductor Precursor Delivery System Sales by Company (2020-2025)
6.5.1.2 South Korea Semiconductor Precursor Delivery System Revenue by Company (2020-2025)
6.5.2 South Korea Semiconductor Precursor Delivery System Sales Breakdown by Type (2020-2025)
6.5.3 South Korea Semiconductor Precursor Delivery System Sales Breakdown by Application (2020-2025)
6.5.4 South Korea Semiconductor Precursor Delivery System Major Customer
6.5.5 South Korea Market Trend and Opportunities
7 Company Profiles and Key Figures
7.1 Merck Group
7.1.1 Merck Group Company Information
7.1.2 Merck Group Business Overview
7.1.3 Merck Group Semiconductor Precursor Delivery System Sales, Revenue and Gross Margin (2020-2025)
7.1.4 Merck Group Semiconductor Precursor Delivery System Products Offered
7.1.5 Merck Group Recent Development
7.2 Air Liquide
7.2.1 Air Liquide Company Information
7.2.2 Air Liquide Business Overview
7.2.3 Air Liquide Semiconductor Precursor Delivery System Sales, Revenue and Gross Margin (2020-2025)
7.2.4 Air Liquide Semiconductor Precursor Delivery System Products Offered
7.2.5 Air Liquide Recent Development
7.3 Entegris
7.3.1 Entegris Company Information
7.3.2 Entegris Business Overview
7.3.3 Entegris Semiconductor Precursor Delivery System Sales, Revenue and Gross Margin (2020-2025)
7.3.4 Entegris Semiconductor Precursor Delivery System Products Offered
7.3.5 Entegris Recent Development
7.4 CSK
7.4.1 CSK Company Information
7.4.2 CSK Business Overview
7.4.3 CSK Semiconductor Precursor Delivery System Sales, Revenue and Gross Margin (2020-2025)
7.4.4 CSK Semiconductor Precursor Delivery System Products Offered
7.4.5 CSK Recent Development
7.5 Foures Co., Ltd
7.5.1 Foures Co., Ltd Company Information
7.5.2 Foures Co., Ltd Business Overview
7.5.3 Foures Co., Ltd Semiconductor Precursor Delivery System Sales, Revenue and Gross Margin (2020-2025)
7.5.4 Foures Co., Ltd Semiconductor Precursor Delivery System Products Offered
7.5.5 Foures Co., Ltd Recent Development
7.6 PNC Process Systems Co.,Ltd
7.6.1 PNC Process Systems Co.,Ltd Company Information
7.6.2 PNC Process Systems Co.,Ltd Business Overview
7.6.3 PNC Process Systems Co.,Ltd Semiconductor Precursor Delivery System Sales, Revenue and Gross Margin (2020-2025)
7.6.4 PNC Process Systems Co.,Ltd Semiconductor Precursor Delivery System Products Offered
7.6.5 PNC Process Systems Co.,Ltd Recent Development
7.7 Sempa Systems GmbH
7.7.1 Sempa Systems GmbH Company Information
7.7.2 Sempa Systems GmbH Business Overview
7.7.3 Sempa Systems GmbH Semiconductor Precursor Delivery System Sales, Revenue and Gross Margin (2020-2025)
7.7.4 Sempa Systems GmbH Semiconductor Precursor Delivery System Products Offered
7.7.5 Sempa Systems GmbH Recent Development
7.8 Fujifilm
7.8.1 Fujifilm Company Information
7.8.2 Fujifilm Business Overview
7.8.3 Fujifilm Semiconductor Precursor Delivery System Sales, Revenue and Gross Margin (2020-2025)
7.8.4 Fujifilm Semiconductor Precursor Delivery System Products Offered
7.8.5 Fujifilm Recent Development
7.9 SMI Co., Ltd
7.9.1 SMI Co., Ltd Company Information
7.9.2 SMI Co., Ltd Business Overview
7.9.3 SMI Co., Ltd Semiconductor Precursor Delivery System Sales, Revenue and Gross Margin (2020-2025)
7.9.4 SMI Co., Ltd Semiconductor Precursor Delivery System Products Offered
7.9.5 SMI Co., Ltd Recent Development
7.10 Brooks Instrument
7.10.1 Brooks Instrument Company Information
7.10.2 Brooks Instrument Business Overview
7.10.3 Brooks Instrument Semiconductor Precursor Delivery System Sales, Revenue and Gross Margin (2020-2025)
7.10.4 Brooks Instrument Semiconductor Precursor Delivery System Products Offered
7.10.5 Brooks Instrument Recent Development
7.11 Ceres Technologies
7.11.1 Ceres Technologies Company Information
7.11.2 Ceres Technologies Business Overview
7.11.3 Ceres Technologies Semiconductor Precursor Delivery System Sales, Revenue and Gross Margin (2020-2025)
7.11.4 Ceres Technologies Semiconductor Precursor Delivery System Products Offered
7.11.5 Ceres Technologies Recent Development
7.12 HORIBA
7.12.1 HORIBA Company Information
7.12.2 HORIBA Business Overview
7.12.3 HORIBA Semiconductor Precursor Delivery System Sales, Revenue and Gross Margin (2020-2025)
7.12.4 HORIBA Semiconductor Precursor Delivery System Products Offered
7.12.5 HORIBA Recent Development
7.13 CollabraTech (Exyte)
7.13.1 CollabraTech (Exyte) Company Information
7.13.2 CollabraTech (Exyte) Business Overview
7.13.3 CollabraTech (Exyte) Semiconductor Precursor Delivery System Sales, Revenue and Gross Margin (2020-2025)
7.13.4 CollabraTech (Exyte) Semiconductor Precursor Delivery System Products Offered
7.13.5 CollabraTech (Exyte) Recent Development
7.14 Stainless Design Concepts (SDC)
7.14.1 Stainless Design Concepts (SDC) Company Information
7.14.2 Stainless Design Concepts (SDC) Business Overview
7.14.3 Stainless Design Concepts (SDC) Semiconductor Precursor Delivery System Sales, Revenue and Gross Margin (2020-2025)
7.14.4 Stainless Design Concepts (SDC) Semiconductor Precursor Delivery System Products Offered
7.14.5 Stainless Design Concepts (SDC) Recent Development
7.15 Bronkhorst
7.15.1 Bronkhorst Company Information
7.15.2 Bronkhorst Business Overview
7.15.3 Bronkhorst Semiconductor Precursor Delivery System Sales, Revenue and Gross Margin (2020-2025)
7.15.4 Bronkhorst Semiconductor Precursor Delivery System Products Offered
7.15.5 Bronkhorst Recent Development
7.16 SVCS Process Innovation
7.16.1 SVCS Process Innovation Company Information
7.16.2 SVCS Process Innovation Business Overview
7.16.3 SVCS Process Innovation Semiconductor Precursor Delivery System Sales, Revenue and Gross Margin (2020-2025)
7.16.4 SVCS Process Innovation Semiconductor Precursor Delivery System Products Offered
7.16.5 SVCS Process Innovation Recent Development
7.17 Shanghai Wisdom Technology
7.17.1 Shanghai Wisdom Technology Company Information
7.17.2 Shanghai Wisdom Technology Business Overview
7.17.3 Shanghai Wisdom Technology Semiconductor Precursor Delivery System Sales, Revenue and Gross Margin (2020-2025)
7.17.4 Shanghai Wisdom Technology Semiconductor Precursor Delivery System Products Offered
7.17.5 Shanghai Wisdom Technology Recent Development
8 Semiconductor Precursor Delivery System Manufacturing Cost Analysis
8.1 Semiconductor Precursor Delivery System Key Raw Materials Analysis
8.1.1 Key Raw Materials
8.1.2 Key Suppliers of Raw Materials
8.2 Proportion of Manufacturing Cost Structure
8.3 Manufacturing Process Analysis of Semiconductor Precursor Delivery System
8.4 Semiconductor Precursor Delivery System Industrial Chain Analysis
9 Marketing Channel, Distributors and Customers
9.1 Marketing Channel
9.2 Semiconductor Precursor Delivery System Distributors List
9.3 Semiconductor Precursor Delivery System Customers
10 Semiconductor Precursor Delivery System Market Dynamics
10.1 Semiconductor Precursor Delivery System Industry Trends
10.2 Semiconductor Precursor Delivery System Market Drivers
10.3 Semiconductor Precursor Delivery System Market Challenges
10.4 Semiconductor Precursor Delivery System Market Restraints
11 Research Findings and Conclusion
12 Appendix
12.1 Research Methodology
12.1.1 Methodology/Research Approach
12.1.1.1 Research Programs/Design
12.1.1.2 Market Size Estimation
12.1.1.3 Market Breakdown and Data Triangulation
12.1.2 Data Source
12.1.2.1 Secondary Sources
12.1.2.2 Primary Sources
12.2 Author Details
12.3 Disclaimer

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Table of Contents

Summary

The global Semiconductor Precursor Delivery System market size was US$ 468 million in 2024 and is forecast to a readjusted size of US$ 769 million by 2031 with a CAGR of 6.8% during the forecast period 2025-2031.

By 2025, the evolving U.S. tariff policy is poised to inject considerable uncertainty into the global economic landscape. This report delves into the latest U.S. tariff measures and the corresponding policy responses across the globe, evaluating their impacts on Semiconductor Precursor Delivery System market competitiveness, regional economic performance, and supply chain configurations.

The semiconductor precursor delivery system is a core subsystem in semiconductor manufacturing, used to safely and accurately deliver gaseous, liquid or solid precursors (such as silane, TEOS, tungsten hexafluoride, etc.) to the chemical vapor deposition (CVD) or atomic layer deposition (ALD) reaction chamber. Its core components include precursor storage sources (high-pressure gas cylinders, heated sublimation chambers), precision flow and pressure controllers (such as mass flow meters MFC), corrosion-resistant gas pipeline networks (stainless steel/inert coatings), safety isolation devices (gas cabinets, leak detection and exhaust gas treatment systems) and automated integration interfaces. The system ensures precursor purity (＞6N) and delivery stability through temperature control, real-time monitoring and high-speed valve switching (such as ALD pulse sequences), while preventing the risk of leakage of toxic substances (such as arsenic). Its performance directly determines the uniformity of thin films, doping accuracy and device reliability, and is a key support for the mass production of advanced processes (3nm nodes, gate-all-around transistors) and new materials (high dielectric layers, two-dimensional semiconductors).

As semiconductor technology moves towards smaller nodes and complex structures, delivery systems continue to upgrade to meet challenges. For example, multi-precursor manifolds support multi-element nano-stacks (such as HfO₂-Al₂O₃), in-situ optical/mass spectrometry monitoring enables closed-loop process control, and cluster tools integrate multi-step processes to reduce contamination. The system must also be compatible with extreme process requirements, such as nickel-based alloy pipelines that are resistant to hydrogen fluoride corrosion, thermal oxidation exhaust gas treatment devices, etc. These innovations not only improve deposition efficiency and material properties, but also promote the industrialization of advanced logic chips, memory, and third-generation semiconductors (such as GaN and SiC). Any slight fluctuation may lead to film defects, so high-precision delivery systems have become an indispensable "vascular network" in semiconductor equipment, supporting the continued evolution of Moore's Law.

The semiconductor precursor delivery system is a device used to deliver precursors. Depending on the type of precursor, the delivery system can be divided into a gas delivery system, a liquid delivery system (LDS), and a solid delivery system. With the growth of downstream application demand for precursors, the growth of the precursor delivery system market has been further promoted. It is expected that by 2031, the market size will exceed 700 million US dollars.
From the production side, the core production areas of semiconductor precursor delivery systems are mainly Europe, the United States, South Korea and Europe, among which Europe is the most important production area, accounting for 37.9% of the market share in 2024. There are still differences in the application, technology and product performance of Chinese semiconductor precursor delivery system companies and international leading companies (such as Merck and Air Liquide) in the field of advanced processes. However, as the localization process of Chinese local manufacturers accelerates, some Chinese local companies have also gained a certain market share in the precursor delivery system market, such as Jiangsu Yoke Technology and PNC Process Systems Co., Ltd. In addition, in recent years, there have been many new entrants from Chinese local enterprises, such as Shanghai Wisdom Technology, Hefei Adchem, etc., but at present, the scale is relatively small. With the development of China's semiconductor market in the future, it is expected that the global competition share of Chinese local manufacturers will gradually increase in the next few years, and China will maintain the fastest growth rate. With the advancement of domestic precursor delivery system technology, the emergence of cost advantages and the strengthening of policy support, it is expected that the share will reach 23.7% in 2031.

From the perspective of manufacturers, the core manufacturers of semiconductor precursor delivery systems worldwide mainly include Merck Group, Air Liquide, Entegris, CSK, Foures Co., Ltd (Jiangsu Yoke Technology), PNC Process Systems Co., Ltd, etc. In 2024, the world's first-tier manufacturers are mainly Merck Group and Air Liquide, with a market share of approximately 43.81%; the second-tier manufacturers include Entegris, CSK, Foures Co., Ltd (Jiangsu Yoke Technology), PNC Process Systems Co., Ltd, etc., with a total share of 42.9%.
The global Semiconductor Precursor Delivery System market is strategically segmented by company, region (country), by Type, and by Application. This report empowers stakeholders to capitalize on emerging opportunities, optimize product strategies, and outperform competitors through data-driven insights on sales, revenue, and forecasts across regions, by Type, and by Application for 2020-2031.

Market Segmentation
By Company:
Merck Group
Air Liquide
Entegris
CSK
Foures Co., Ltd
PNC Process Systems Co.,Ltd
Sempa Systems GmbH
Fujifilm
SMI Co., Ltd
Brooks Instrument
Ceres Technologies
HORIBA
CollabraTech (Exyte)
Stainless Design Concepts (SDC)
Bronkhorst
SVCS Process Innovation
Shanghai Wisdom Technology
By Type: (Dominant Segment vs High-Margin Innovation)
Liquid Delivery System (LDS)
Solid Precursor Delivery Systems
Gas Delivery Systems
By Application: (Core Demand Driver vs Emerging Opportunity)
PVD/CVD/ALD Process
Epitaxial and Etching Process
By Region
Macro-Regional Analysis: Market Size & Growth Forecasts
- North America
- Europe
- Asia-Pacific
- South America
- Middle East & Africa
Micro-Local Market Deep Dive: Strategic Insights
- Competitive Landscape: Player dominance vs. disruptors (e.g., Merck Group in Europe)
- Emerging Product Trends: Liquid Delivery System (LDS) adoption vs. Solid Precursor Delivery Systems premiumization
- Demand-Side Dynamics: PVD/CVD/ALD Process growth in China vs. Epitaxial and Etching Process potential in USA
- Localized Consumer Needs: Regulatory hurdles in EU vs. price sensitivity in India
Focus Markets:
USA
Europe
China
Japan
South Korea
(Additional regions can be customized based on client needs.)

Chapter Outline
Chapter 1: Report scope, executive summary, and market evolution scenarios (short/mid/long term).
Chapter 2: Quantitative analysis of Semiconductor Precursor Delivery System market size and growth potential at global, regional, and country levels.
Chapter 3: Competitive benchmarking of manufacturers (revenue, market share, M&A, R&D focus).
Chapter 4: Type-based segmentation analysis – Uncovering blue ocean markets (e.g., Solid Precursor Delivery Systems in China).
Chapter 5: Application-based segmentation analysis – High-growth downstream opportunities (e.g., Epitaxial and Etching Process in India).
Chapter 6: Regional sales and revenue breakdown by company, type, application and customer.
Chapter 7: Key manufacturer profiles – Financials, product portfolios, and strategic developments.
Chapter 8: Market dynamics – Drivers, restraints, regulatory impacts, and risk mitigation strategies.
Chapter 9: Actionable conclusions and strategic recommendations.
Why This Report?
Unlike generic global market reports, this study combines macro-level industry trends with hyper-local operational intelligence, empowering data-driven decisions across the Semiconductor Precursor Delivery System value chain, addressing:
- Market entry risks/opportunities by region
- Product mix optimization based on local practices
- Competitor tactics in fragmented vs. consolidated markets

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