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レビュー 超高真空技術の新展開 

~数式による解析から真空回路・分子流ネットワークへ~

 

出版社 出版年月冊子体価格ページ数
エヌ・ティー・エス
2017年4月¥35,000 (税別)338

サマリー

超高真空に関する様々な論文を紹介しながら検討し、従来の真空技術に対する理論を基に、著者自身が実践を経て、有効なもの、注意が必要な技法、材料などを、丁寧に解説。研究者はもちろん、これから真空の研究を始める学生等にも役立つ一冊。



目次


第1章 チャンバー壁面のガス放出機能と真空ポンプの排気機能との類似性
第2章 表面による残留ガスの収着と表面からのガスの脱離
第3章 ガス放出量の測定方法
第4章 ガス放出量や透過係数などのデータ
第5章 電子励起ガス脱離と光誘起ガス脱離
第6章 微小電子プローブ照射で起こるコンタミネーションの堆積
第7章 分子流コンダクタンスとガスフローパターン
第8章 分子流ネットワーク解析
第9章 スパッタイオンポンプとゲッターポンプの基礎
第10章 スパッタイオンポンプの開発
第11章 超高真空ゲージとマススペクトロメータ
第12章 振動の少ない超高真空油拡散ポンプと関連機器の開発
第13章 スイッチオーバー排気時に耐性を示す、ダイナミックな排気系
各章のキーワード集
むすび

 


執筆者: 吉村長光

 

 

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